5.3 气相沉积方法(与CVD相关和无关的工艺)综述

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5.3 气相沉积方法(与CVD相关和无关的工艺)综述

本节的目的是为不同的气相沉积方法提供一个视角,其中包括这些方法的局限性、相对优点和缺点。大多数薄膜沉积方法可以分为两类:化学气相沉积和物理气相沉积。除了前面各节所提到的化学气相沉积外,目前还有很多与CVD相关的 ......(本文共 7290 字 , 2 张图)     [阅读本文] >>


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