所属栏目：先进材料化学
聚合物在显微光刻法中起着重要的作用,将图像刻画到硅等基材的过程和持续增加的复杂性以及微电子器件的密度一直是新材料研究的推动力。活性有机光刻胶材料在器件制造过程中起着重要的作用,还有其他惰性聚合物在微电子工业 ......（本文共 6313 字 , 8 张图） [阅读本文]>>
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