所属栏目：先进材料化学
对于给定的刻蚀工艺要仔细选择化学性能满足要求的光刻胶。尽管根据光源、过程设备需求和曝光工具不同这些要求有所不同,但是有一些基本原则是相同的:敏感度、对比度、分辨率、抗蚀性、纯度和加工性能[8]。这些性能可以通过 ......（本文共 511 字 ） [阅读本文]>>
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