第27问 为什么数据线金属采用Ti/Al时接触孔需要特殊设计

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如图1所示为ITO与Ti/Al金属接触图案,其中金属中心开孔,下方垫有半导体层。为什么不采用如图2表示的简单接触孔样式呢?图1 ITO与Ti/Al金属接触孔图2 理想ITO与Ti/Al金属接触孔如图3所示,ITO与金属Al直接接触,但是Al膜会与ITO膜之间由于 ......(本文共 566 字 )     [阅读本文] >>


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