所属栏目：平板显示释疑
上一问与大家聊过非晶硅TFT的制造工艺,这一问介绍一下LTPSTFT的制作工艺。a-SiTFT一般为底栅5Mask结构,而LTPSTFT由于底栅结构导致硅层中结晶性不佳,无法提高载流子迁移率,目前顶栅式LTPSTFT已是主流结构。LTPSTFT与a-SiTFT主要有两点制程 ......（本文共 681 字 ） [阅读本文] >>
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