2.4.1 倾斜沉积雕塑薄膜的基本性质

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2.4.1 倾斜沉积雕塑薄膜的基本性质

雕塑薄膜的生长过程与一般薄膜的生长过程有相似之处。但是,由于斜入射沉积的阴影效应,又有其自身的特点。阴影效应是斜入射薄膜结构不同于一般薄膜结构的一个最重要的原因。如图2-4-1所示,当蒸发束流倾斜入射时,随着薄膜的 ......(本文共 1362 字 , 3 张图)     [阅读本文]>>


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