2.2.6 几种反射膜的研制

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2.2.6 几种反射膜的研制

2.2.6.1　13.9nmMo/Si多层膜反射镜的研制13.9nm是软X射线激光的重要输出波长。在极紫外光刻[15]和激光等离子体的诊断中有重要的应用。通过前面的讨论可以知道,在13nm附近Mo/Si是制备多层膜的一对很好的材料。采用Mo/Si材料对进行优化设 ......（本文共 3908 字 , 10 张图）     [阅读本文]>>


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