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1)多层膜结构的测试分析软X射线多层膜的结构分析主要包括周期厚度的测量和多层膜的结构分析。厚度的测量一般可采用高分辨的台阶仪和高分辨的光学干涉显微镜,但对X光膜的每层厚度来说,这两种方法的测量精度都太差,并且不能 ......（本文共 2505 字 , 9 张图） [阅读本文] >>
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