2.2.3 多层膜的性能分析

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2.2.3 多层膜的性能分析

多层膜实际所能获得的光学特性是与多层膜实际的结构参数相关的,所以,理论设计的薄膜反射率总是与实际测量的结果有所不同。尤其在X射线波段,这种差别更大。其主要原因包括,膜层厚度的随机误差、膜表面粗糙度、膜层界面的粗 ......(本文共 3855 字 , 12 张图)     [阅读本文]>>


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