2.3.3.1 晶粒尺寸增大

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2.3.3.1 晶粒尺寸增大

区熔再结晶ZMR的最重要作用是增大籽晶层的晶粒尺寸,其机理的解释参见2.3.2节。对ZMR之前和之后的籽晶层分别进行射哥蚀刻,可以观测其晶体结构的横截面:●ZMR之前的刚沉积后层:典型的刚沉积后层中,晶粒尺寸在μm量级,最先沉积的 ......（本文共 1095 字 , 2 张图）     [阅读本文] >>


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