1.5.1.2 对流辅助化学气相沉积

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1.5.1.2 对流辅助化学气相沉积

作为最近发展的大规模生产工艺,对流辅助化学气相沉积(ConvectionassistedChemicalVaporDeposition,CoCVD)可以有效地使用热对流,以控制反应腔中的气体流动,并且通过对流回收未充分使用的气体前驱物[90],如图1.23所示。反应腔与水平方向的夹角 ......（本文共 417 字 , 1 张图）     [阅读本文]>>


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