1.2.3 近空间气相输运

作为另一种外延层制备技术,近空间气相输运(closespacevaportransport,CSVT)具有较高的化学效率(chemicalefficiency),而化学效率是指固体薄膜的Si生长量和Si供应量的比例[40,41]。虽然CSVT技术在20世纪60年代就被了解[42],但是CSVT最近被美国国家可 ......（本文共 1027 字 , 1 张图）     [阅读本文] >>