0.3.1 薄膜的定义

到底怎样来界定“薄膜”和“厚膜”呢?薄膜定义[7]为:通过凝固(condensation)或化学反应(chemicalreaction),发生随机的成核(nucleation),在衬底(substrate)上积累原子、离子或分子。由于各种薄膜的厚度从几nm到几十μm不等,所以很难从厚度上定义 ......（本文共 495 字 ）     [阅读本文]>>