五氟化钽

TaF5,纯度>99%。为无色晶体,折光能力强,在空气中易潮解,熔点97℃、沸点229℃,密度4.74g/L。钽粉直接氟化可制取纯度大于99%的产品。本品在微电子工业中用作气相沉积硅化钽或钽,以制作低电阻高熔点的互连线。 ......    （本文共 113 字 ）     [阅读本文]>>