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微纳电子技术(2024年04期)
Micronanoelectronic Technology

  • 基本信息
  • 半导体情报

    中国电子科技集团公司第十三研究所

    月刊

  • 1671-4776

    13-1314/TN

    河北省石家庄市

    中文;

    大16开

    18-60

    1964

  • 出版信息
  • 信息科技

    无线电电子学

    7032篇

  • 评价信息
  • 0.915

    0.585

  • CA 化学文摘(美)(2024)

    INSPEC 科学文摘(英)(2024)

    Pж(AJ) 文摘杂志(俄)(2020)

    WJCI 科技期刊世界影响力指数报告(2023)来源期刊

    2008年版,2011年版,2014年版,2017年版,2020年版

    Caj-cd规范获奖期刊;

目 录

  • 压电AlN MEMS的新进展
  • 投影微立体光刻技术在微流控芯片领域的研究进展
  • CMP抛光垫表面及材料特性对抛光效果影响的研究进展
  • 纳米压印技术在太阳能电池中应用的研究进展
  • 分子模板诱导碱木质素基多孔比容炭的制备及其超级电容器储能性能
  • 用于压电传感器的层加层结构纳米纤维膜
  • 淀粉电解质添加剂在水系锌离子电池中的应用
  • 基于单质量块微纳光栅泰伯效应的双轴MOEMS加速度计
  • 具有多孔双微结构层的柔性电容式压力传感器
  • 微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试
  • 高精度磁栅式隧道磁阻微位移传感器
  • 深度学习驱动的液滴微流控单细胞分选系统
  • 基于固-液摩擦纳米发电机的海洋红外对射自供能发电胶囊
  • 基于相控阵与合成孔径聚焦方法的CMUT阵列虚拟声源成像技术
  • X波段Si基片集成脊波导MEMS环行器
  • 微模具重复利用的高深宽比铜微结构微电铸复制技术
  • 大高径比硅纳米阵列结构制作工艺及表面润湿性
  • 弯月面银墨水直写导电图案
  • E1310P和FMEE复配对铜膜CMP性能的影响
  • 压流膜阻力对超微量点胶过程的影响及胶液转移率预测方法
  • 第十八届中国半导体行业协会半导体分立器件年会暨2024年中国半导体器件技术创新及产业发展论坛会议通知
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