1.3.3 膜系设计实例

    在分析设计和自动设计有机结合的基础上,原则上可以实现目前光学系统所需要的绝大多数光学薄膜包括结构非常复杂的膜系设计。一些具体的设计,在本书后面的章节中,将结合光学薄膜的具体应用给出。这里只给出宽带减反射膜和......查看详细>>

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参考文献

    [1]唐晋发,郑权.应用薄膜光学[M].上海:上海科技出版社,1984.[2]唐晋发,顾培夫,刘旭,等.现代光学薄膜技术[M].杭州:浙江大学出版社,2006.[3]DobrowolskiJA,R.A.Kemp.Refinementofopticalmultilayersystemswithdifferentoptimizationprocedures[J].Appl.Opt.,1990,29(19):2876-2......查看详细>>

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2.1.1 紫外光及紫外光学薄膜的一般特性

    2.1.1.1　紫外光的产生及其特性1)星体光很多高温物体都会辐射紫外光。太空中温度超过10000K恒星的辐射光谱,其峰值都在紫外波段。通过研究发光体的紫外光谱不仅可以得知它们的温度,还可以有效地提供大气层中不同元素的成分和状......查看详细>>

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2.1.2 影响紫外高反膜光学性能的主要因素

    2.1.2.1　高折射率材料的消光系数理论上,对于的规整膜系,多层膜的反射率会随着薄膜层数的增加而无限制地接近100%,而实际上由于膜材料本身的吸收、散射等影响,多层膜的实测反射率要比理论值小很多。在这种条件下,高反射膜的反......查看详细>>

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2.1.3 几种紫外激光薄膜

    2.1.3.1　355nm高强度激光薄膜355nm是1064nm激光的三倍频波长,在强激光以及其他领域中,有着重要应用。用于这类激光的光学薄膜,不仅要求具有优良的光学性能,更要求较高的抗激光强度。相对于基频薄膜,三倍频薄膜的破坏问题之所以更......查看详细>>

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参考文献

    [1]BoydIW,ZhangJY.Newlargeareaultravioletlampsourcesandtheirapplications[J].NuclearInstruments&MethodsinPhysicsResearchSectionB-BeamInteractionswithMaterialsandAtoms.1997,121(1-4):349-356.[2]MuamerZukic,DouglasG.Torr,JamesF.Spann,etal..Vacuumultraviol......查看详细>>

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2.2.1 软X射线多层膜设计的基本理论

    前面说过,软X射线多层膜的基本理论是建立在一般光学薄膜的基本理论之上的。但是软X射线光波振动的频率高、光子能量大,在多层膜中反射的物理模型与普通的光学薄膜有所不同。几十年来,极紫外和软X射线薄膜得到极大的发展,其......查看详细>>

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2.2.2 软X射线及极紫外薄膜的一般设计结果

    2.2.2.1　2～30nm波段,几种软X射线多层反射膜的材料对的优化设计结果根据X射线反射膜材料对的一般选择原则,对几十种可能的薄膜材料进行配对组合,并进行优化设计。从而在不同波段,得到了最佳组合,最佳厚度比,并算出了可能达到的......查看详细>>

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2.2.3 多层膜的性能分析

    多层膜实际所能获得的光学特性是与多层膜实际的结构参数相关的,所以,理论设计的薄膜反射率总是与实际测量的结果有所不同。尤其在X射线波段,这种差别更大。其主要原因包括,膜层厚度的随机误差、膜表面粗糙度、膜层界面的粗......查看详细>>

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2.2.4 软X射线多层膜反射镜的研制

    软X射线多层膜的制备较之可见光多层膜有更严格的技术要求。镀膜设备必须做到:①能按原子尺度在镀膜过程中实时控制膜厚;②膜层足够均匀;③尽量减少界面变粗糙和两种材料在界面处的渗透扩散;④有足够长的稳定时间以适应制备......查看详细>>

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