光学薄膜的激光破坏是一个复杂的过程。它是激光与薄膜相互作用的一个特殊状态和特殊阶段。包含了激光与薄膜相互作用的光学过程、热过程、热力学过程和强场过程等基本过程,表现为热熔融、热喷发、热炸裂、场击穿以及质量...[继续阅读]

    [1]M.D.Perry,R.D.Boyd.High-efficiencymultiplayerdielectricdiffractiongratings[J].OpticsLetters,1995,20(8):940-941.[2]J.A.Britten.M.D.Perry.High-efficiency,dielectricmultiplayergratingsoptimizedformunufacturabilityandlaserdamagethreshold[C].Laser-inducedDa...[继续阅读]

    2.2.6.1　13.9nmMo/Si多层膜反射镜的研制13.9nm是软X射线激光的重要输出波长。在极紫外光刻[15]和激光等离子体的诊断中有重要的应用。通过前面的讨论可以知道,在13nm附近Mo/Si是制备多层膜的一对很好的材料。采用Mo/Si材料对进行优化设...[继续阅读]

    减反射膜在激光系统中也是不可或缺的光学元件。与一般光学系统中减反射膜相比,激光减反射膜不仅要求高的光学性能,还要求高的抗激光强度。虽然针对的波长区域一般比较窄,但是却要求更低的剩余反射和更低的吸收和散射损耗...[继续阅读]

    非线性破坏是高强度激光作用下光学薄膜的一种本征破坏。在超短脉冲激光作用的条件下,导致薄膜破坏的主要因素转换为非线性破坏。光学薄膜的非线性破坏,首先表现为介质击穿。击穿的主要机制有雪崩击穿、多光子击穿和隧道击...[继续阅读]

    2.4.4.1　ZnS雕塑双折射薄膜ZnS材料具有闪锌矿(面心立方结构)和纤锌矿(六方结构)两种结构。立方ZnS在可见光范围内具有高的折射率(n488=2.43,n589＝2.36),在该波段没有光吸收。作为重要的宽禁带半导体,体材料的带隙为3.7eV。ZnS的性能依赖...[继续阅读]

    偏振膜是激光系统中的重要元件,在激光的分光、调制、整形及隔离中起着关键的作用。在各类偏振膜中,平板型偏振片具有结构简单、性能优越、破坏阈值高且不受尺寸大小的限制等特点,在激光系统中得到了广泛应用。激光偏振膜...[继续阅读]

    3.3.1.1　激光参数与光学薄膜破坏经验关系1)大能量激光和高功率激光大能量激光一般指长脉冲和连续激光,由于激光束作用时间长,单位面积上的能量可达数百至数千焦耳,大能量激光通常引起材料的热破坏,表现为热熔融破坏或热应力...[继续阅读]

    多脉冲激光对光学薄膜的破坏,涵盖了重复率激光、准连续激光、自由振荡激光等几种类型的激光对薄膜的破坏问题。这类激光的高峰值功率可能导致薄膜破坏的多种非线性过程,而多脉冲激光作用的累积效应又能造成微观破坏向宏观...[继续阅读]

    2.2.2.1　2～30nm波段,几种软X射线多层反射膜的材料对的优化设计结果根据X射线反射膜材料对的一般选择原则,对几十种可能的薄膜材料进行配对组合,并进行优化设计。从而在不同波段,得到了最佳组合,最佳厚度比,并算出了可能达到的...[继续阅读]