波谱仪

　　在电子探针中，X射线是由样品表面以下 m数量级的作用体积中激发出来的，如果这个体积中的样品是由多种元素组成，则可激发出各个相应元素的特征X射线。

　　被激发的特征X射线照射到连续转动的分光晶体上实现分光（色散），即不同波长的X射线将在各自满足布拉格方程的2 方向上被（与分光晶体以2:1的角速度同步转动的）检测器接收。

　　波谱仪的特点：

　　波谱仪的突出优点是波长分辨率很高。如它可将波长十分接近的VK （0.228434nm），CrK 1（0.228962nm）和CrK 2（0.229351nm）3根谱线清晰地分开。

　　但由于结构的特点，谱仪要想有足够的色散率，聚焦圆的半径就要足够大，这时弯晶离X射线光源的距离就会变大，它对X射线光源所张的立体角就会很小，因此对X射线光源发射的X射线光量子的收集率也就会很低，致使X射线信号的利用率极低。

　　此外，由于经过晶体衍射后，强度损失很大，所以，波谱仪难以在低束流和低激发强度下使用，这是波谱仪的两个缺点。