热解法在氮化硼基底上沉积碳膜衰减器的工艺研究

摘要： 螺旋线行波管是一种应用较为广泛的宽频带、高增益行波功率放大器件。衰减器是提高管子性能稳定性的关键部件之一。它不仅可以吸收在管子输入、输出端及切断端传输介质的变化引起的反射波，抑制反射波和向前波叠加引起的自激振荡；而且，可以减小传输电路在输入、输出端及切断端产生的阻抗不匹配的影响，扩宽行波管有效传播的频带宽度；同时可以避免陶瓷杆的上的电荷积累造成的放电或电弧。文章通过低压真空热解...