芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析

摘要： 微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件，在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果，分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法：三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀螺阵列法。其次，通过对当前方案的总结与分析，比较了各方案的优缺点，设计了一种频差小、抗冲击能力强的单片三轴轮环式陀螺结构。仿真实验表明该结构能承受20000 g冲...