结构参数约束下的磁场补偿式双层时栅角位移传感器研究

摘要： 时栅角位移传感器广泛运用于数控机床、工业机器人等领域中的角度测量。针对双层时栅角位移传感器测量过程中时变磁场分布不对称问题，提出了一种磁场补偿驱动方案，该方案通过对双层平面线圈分层分幅值激励来提高时变磁场的对称性。首先建立了传感器时变磁场参数化数学模型，根据磁场补偿思路确定了两层激励信号幅值比与传感器结构参数的关系；然后构建了仿真模型，并搭建了传感器实验系统；最后，进行了原有驱...