一种MEMS三维电场传感器抗电荷干扰方法研究

摘要： 三维电场传感器具有广泛的应用需求。在传感器应用环境中存在空间电荷的条件下，带电粒子有可能在电场传感器表面产生电荷积累，对电场检测造成干扰，这是影响测量准确性的一个关键因素。尤其对于MEMS三维电场传感器，尚缺乏相关的机理研究和解决方案。针对这个问题，作者探究了表面电荷积累对传感器感应待测电场的影响，分析了电荷积累产生的干扰与传感器结构尺度的关系，并通过有限元仿真和实验验证了理论...